序号
项目
参数标准
检测方式
1
晶体类型
多晶
2
型号/ 掺杂剂
P / Boron
3PP Device
3
氧含量
≦ 2 .0 X 10 18 atoms/cm 3
FT-IR
4
碳含量
≦ 1 .0 X 10 1 8 atoms/cm 3
5
电阻率
0.5 -3 Ω·cm
RT-100
6
少数载流子寿命
≧ 2 .0 μs
Semilab: WT- 2000D
